技术编号:15945988
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体光刻机领域,特别涉及一种片盒搬运机器人。背景技术21世纪以来,自动化物流系统已经在工业领域得到广泛应用,在IC行业前道工艺FAB(Fabrication,加工制造)产线中,特别是 12寸晶圆制造的产线中,已经普遍采用了自动物料搬送系统 (AMHS),包括FAB AGV(FAB自动引导运输小车)、OHT (Overhead Hoist Transfer,举重运输小车)、Stocker(堆料机)等。通过MES(manufacturing execution system,制造执行)系...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。