技术编号：15949351
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于激光测振技术领域，主要涉及一种基于速度预估相位解调的高速激光测振仪。背景技术零差激光测振仪具有结构简单、测量精度高、动态范围宽和非线性易于补偿等优点，被广泛应用于位移动态测量、振动测量与监测、超精密装备与系统集成、科学研究与实验等领域。高端与尖端领域中的零差激光测振仪多采用四通道零差正交激光干涉测振方案，利用偏振光移相干涉技术，获得两路正交光电信号，通过相位解调等信号处理，实现位移与振动的高精度测量。然而，一些如超低频振动校准、半导体光刻等需要高速测量的应用场景对零差激光测振仪提出了新...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。