技术编号：15952041
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超灵敏度恒温控制系统，尤其涉及一种隧道效应超灵敏度电磁控制恒温系统，可用于补偿超精密加工中温度的细微变化，且补偿精度高。背景技术超精密加工技术直接影响着一个国家的尖端技术与国防工业的发展。在超精密加工中，热误差占总加工误差的40%-70%，严重影响着产品的质量和性能。目前，超精密加工都是设置在空调房里进行。然而，即便是变频空调的温度控制精度也不高，约在1°C左右。常温常压下，1m长的普通碳素钢温度上升1°C，将伸长约10μm。因此，设计一种超灵敏度的恒温控制系统非常的必要。发明内容本发...
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