技术编号：15967575
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于传感器领域，具体涉及一种双极板电容角位移传感器，用于对角位移进行精确测量。背景技术角位移和角速度测量在自动控制和工业生产中有着广泛的应用，因此高精度、高可靠、成本低廉、结构简单的角位移传感器需求十分迫切。目前常用的非接触角位移传感器为光电式角传感器和电磁式角传感器。借用细分技术，光电式可以达到几个角秒的分辨率，但它在恶劣环境例如机械振动、烟尘中使用受限，且价格昂贵；电磁式角传感器有较强的环境适应能力，但其分辨率十分有限。相较而言电容式角传感器兼顾了高精度和鲁棒性强的优点，并且大多结构简...
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