技术编号:15967725
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微位移测量系统的线性度比对装置和方法,具体涉及基于电容传感器的法布里珀罗标准具微位移测量系统的线性度比对装置和方法。背景技术微位移技术作为精密机械与精密仪器的关键技术之一,近年来随着微电子技术、宇航、生物工程等学科的发展而迅速的发展起来,同时高准确度的微位移测量系统也越来越成为各领域特别是军事领域技术不断进步的制约因素。微位移的测量同时也被广泛地应用于生活和生产中,其应用范围要求测量具有精度高,非接触、实时监测等特点。微位移技术是超精密加工及检测中的一项关键技术。特别是纳米技术的飞速发...
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