技术编号：15972452
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种真空吸盘组件，特别涉及一种在完成高温烧结工艺的石墨舟退出烧结炉后，对石墨舟内成组硅片用真空吸盘组件进行卸载的机构。背景技术在硅片生产过程中，当硅片完成制绒、刻蚀和扩散工艺后，被放置在多层的专用篮具中等待抓取，机械手控制真空吸附组件，将在专用篮具中等待抓取的一组硅片，接触式吸附抓取起来，移送到石墨舟载具中。现有的真空吸附组件是由长方体底座和吸附板组成，在长方形底座上等间隔的彼此平行地并列设置各吸附板，整个真空吸盘组件呈梳齿形，吸附板类似于梳齿，在每个吸附板上设置有三个真空吸盘，三个真...
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