技术编号：15972605
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体光电领域，特别涉及一种薄膜发光二极管及其制造方法。背景技术LED(Light Emitting Diode，发光二极管)是一种能发光的半导体电子元件。其核心部分是由P型半导体和N型半导体组成的外延片，在P型半导体和N型半导体之间有一个过渡层，称为PN结。在某些半导体材料的PN结中，注入的少数载流子与多数载流子复合时会把多余的能量以光的形式释放出来，从而把电能直接转换为光能。现有的LED外延片包括衬底以及依次层叠在衬底上的N型层、多量子阱层和P型层，N型层的电子和P型层的空穴在多量...
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