技术编号:15972942
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于化合物薄膜及光伏电池技术领域,具体涉及一种四元共蒸AIGS薄膜及其制备方法和应用。背景技术化学气相沉积是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。它可以利用气相间的反应,在不改变基体材料的成分和不削弱基体材料的强度条件下,赋予材料表面一些特殊的性能。目前,由化学气相沉积技术制备的材料,不仅应用于刀具材料、耐磨耐热耐腐蚀材料、宇航工业上的特殊复合材料、原子反应堆材料及生物医用材料等领域,而且被广泛应用于制备与合成各种粉体材料、块体材料、新晶体材...
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