技术编号:15973161
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体技术领域,特别涉及一种发光二极管外延片及其制造方法。背景技术LED(Light Emitting Diode,发光二极管)是一种能发光的半导体电子元件。作为一种高效、环保、绿色新型固态照明光源,正在被迅速广泛地得到应用,如交通信号灯、汽车内外灯、城市景观照明、手机背光源等。外延片是LED中的主要构成部分,现有的GaN基LED外延片包括衬底和设置在衬底上的GaN基外延层,GaN基外延层包括依次层叠在衬底上的缓冲层、未掺杂的GaN层、N型层(N型区)、有源层、电子阻挡层、高温P型层(...
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