技术编号:15973645
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种超光滑光学元件表面缺陷类型的检测系统及其测量方法。背景技术随着科学技术的飞速发展,特别是激光技术的迅猛发展,对光学薄膜表面微粗糙度和内部缺陷引起的光散射损耗愈来愈受到人们的关注。从而对光学元件的表面加工以及高质量光学薄膜的制备都提出了越来越高的要求;人们在采用镀膜技术来增加光学元件的透过率或反射率的同时发现,光学元件基底材料的表面加工精度以及光学薄膜的制备工艺等对光学元件控制光束行为的能力都有一定的影响。光入射到材料表面就会与材料表面发生相互作用,进而使散射光的偏振态发生变化,散射...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。