技术编号：15974691
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及工程材料技术领域，具体涉及一种基于力学原理的表面具有微结构的高弹性基体及其方法。背景技术薄膜材料在新材料技术领域占据着极其重要的地位，并且推动了多个领域的发展。在高温环境下利用表面涂层的薄膜材料可以对构件进行有效保护；在零件表面通过表面喷涂一层薄膜材料可以有效增强零件的使用耐受性；在微电子机械系统，用薄膜材料制作的作动器是其不可或缺的部分；特别是在微型制造和高密集成电路领域，薄膜的材料的发展大大推动了该领域的发展。常用的镀膜方法按照薄膜的生长机理分为物理镀膜方法和化学镀膜方法。特别是在...
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