技术编号:15979288
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体生产线调度优化技术,尤其是涉及一种半导体生产线CPS环境下的调度优化方法及装置。背景技术半导体生产线是一类典型的复杂制造系统,具有生产工艺复杂、加工周期长、对机器精度要求高、成本投入大等特点。如何借助于优化的生产计划和调度方案获取更大的收益,是半导体生产制造企业最为关心的问题之一。然而,在半导体生产过程中各类扰动事件时有发生,如设备故障、紧急订单、设备加工时间偏差等等。系统需要快速响应此类事件,在必要情况下适时调整调度方案,以保证生产线的高效运行。通过检索及分析国内外相关研究领域...
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