技术编号：15982
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型提出了一种用于离子注入机的有动密封结构硅片定向装置，包括工作台板；设有贯通轴孔的密封组件穿过所述工作台板，其上端位于真空室内，下端位于大气区域；旋转轴的中间部分安装在所述轴孔内，旋转轴上端连接有定向圆盘而下端与升降驱动装置和旋转驱动装置连接；位于所述工作台板下方的密封组件部分设有和所述轴孔连通的差分抽气口；所述工作台板顶面装有LED灯安装组件；所述密封组件的上下两端均设有密封压盖；本实用新型将较大体积的驱动装置安装在真空室外，通过密封组件保证真空室内的真空度基本不受影响，解决了行业内一直以来的设计...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。