一种含谐衍射面的Alvarez透镜变焦系统的制作方法技术资料下载

技术编号:15996821

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本发明属于光学技术领域,涉及一种谐衍射Alvarez透镜变焦系统。背景技术信息化、微型化和智能化是近代工业,科学与先进技术发展的三大趋向。80年代中期,在光学工业上出现了微光学,微光学是指光学功能器件或光学表面微结构的尺寸在微米量级。近几年又出现了微光机电系统MOEMS,MOEMS是最终实现人们对工业科学与技术发展的三大追求目标──信息化、微型化和智能化的技术方法。目前微系统发展正处于当年集成电路发展的初期水平,有极大的发展空间,微细工业将逐步取代一些传统工业而成为一个全新的高技术产业。谐衍射透...
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