技术编号:16004979
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于LED技术领域,具体涉及一种减少外延片翘曲的LED外延生长方法。背景技术LED(Light Emitting Diode,发光二极管)是一种固体照明,由于LED具有体积小、耗电量低使用寿命长高亮度、环保、坚固耐用等优点受到广大消费者认可,国内生产LED的规模也在逐步扩大。蓝宝石是现阶段工业生长GaN基LED的最普遍的衬底材料。由于蓝宝石衬底和外延薄膜之间存在较大的热失配,使得外延晶体薄膜在生长过程中一直受到应力的作用,导致外延片发生弯曲、翘曲甚至龟裂。传统LED外延层的生长方法为:处理...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。