技术编号：16005021
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及镀膜生产设备技术领域，尤其涉及一种上下镀膜旋转靶机。背景技术目前在物理气象沉积(PVD)真空设备中，所采用的传统”旋转靶机”设计方式，传统靶机为固定的配置模式，当产品必须正面镀膜时，传统靶机就必须由正面安装，并由正面吊装维修，由背面镀膜时，传统靶机就必须由背面安装，并由背面吊装维修，当双面镀膜时，势必需要在设备两侧配置吊装设备及足够的空间才能进行装配及维修，增加设备费用，浪费维修空间，时间及多余人力；传统靶机为客制化单一固定尺寸之模块设计，无法直接因应多变的产品或市场需求，以进行随...
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