技术编号:16022754
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微观粒子几何尺寸的精密测量装置,具体是一种基于外置耦合光栅谐振腔的高精度测量装置。背景技术对于微观粒子(纳米量级粒子)几何尺寸的精密测量,当前主要是通过光学显微镜或电子显微镜实现的。由于受到衍射极限的限制,每一种显微装置都有其最大精度。光学显微镜的精度当前可以达到200nm,电子显微镜在2KV加速电压下可以达到1.2nm。但是,这两种显微装置都有其固有缺陷,对电子显微镜来说,虽然增加加速电压其精度可以达到很高,但是电子束可能通过碰撞和加热破坏样本,染料的保护则破坏了其本来的形态,另一方...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。