技术编号:16028144
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及分析及测量控制技术领域,特别涉及一种高速高精度金属微距测量传感器。背景技术传统的微小距离测量方法,是使用电容法,电感法,微波测距法,激光测距法等。其中,电感法,微波测距法在激光切割应用中精度不够,激光测距法又容易受激光和加工点火花影响,不能可靠应用;电容法是把待测金属的两个面 (或一个点与另一个面),看成是两个电极,在这两个电极之间存在一个电容,该电容值为C=εS/d。(其中ε为极板间介质的介电常数,S为极板面积,d为极板间的距离。)根据上面的公式可知,电容C1极板间距之间的距离越...
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