技术编号:16035745
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及到石英玻璃产品的加工领域,尤其涉及到一种定位准确、加热均匀、效率较高的石英管法兰焊接装置。背景技术随着IC行业的高速发展,半导体设备制造行业随之日渐成熟,石英玻璃产品属于半导体设备中的重要组成产品,需求也与日俱增。因石英玻璃具有高硬度、高纯度、热膨胀系数低和电绝缘等一系列特性,故其加工工艺要求十分严苛,尤其焊接工艺绝大多数为传统的人工操作,加工精度和效率普遍偏低,且对作业人员的技能水平要求较高。半导体设备中的石英产品结构复杂多变,大口径大尺寸石英炉管的法兰焊接与二重组立更是给作业人...
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