一种多传感器的协同制造工艺流程的制作方法技术资料下载

技术编号:16053735

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本发明属于传感器制造技术领域,具体涉及一种多传感器的协同制造工艺流程。背景技术目前,市面上的传感器种类多种多样,如电场传感器、电容加速度传感器、压力传感器、温度传感器及湿度传感器,这些传感器被应用于检测不同的环境数据。目前大部分前述传感器都是独立制造的,然后将不同的传感器安装在同一个安装合体内,虽然这种由单个传感器组装而成的集成式传感器能够同时对不同的环境数据信息进行监测,但是这种集成式传感器占用空间大,组成的集成式传感器体积较为庞大,整体较为笨重。近年来,市面上进一步出现了将不同传感器集成到一...
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