技术编号：16062520
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学显微成像及精密测量技术领域，具体涉及一种微型共焦显微成像装置。背景技术共焦显微成像装置在结构上分为反射式和透射式两种，一般由光源、显微光学系统、扫描装置、检测装置和应用软件系统五部分组成，其中光学成像装置是核心部分。现有的共焦显微成像装置的光学成像部分一般由普通折射透镜或透镜组组成，以实现光束聚焦与物体成像。在这类装置中透镜加工质量和系统装调误差对成像效果影响较大，并且成像装置结构复杂、尺寸庞大。因此，为了使共焦显微成像装置中各光学元器件分布更加紧凑，有效减小装置的结构尺寸，实现共...
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