技术编号：16063847
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种发光二极管芯片制造的光刻工艺中的显影装置。背景技术发光二极管(英文：Light Emitting Diode，简称：LED)是一种可以把电能转化成光能的半导体二极管。芯片是LED的核心组件，光刻(英文：photolithography)工艺是包括LED芯片在内的半导体器件制造工艺中的一个重要步骤，利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到半导体器件上。目前常用的显影方式是在半导体器件上铺设光刻胶并通过掩膜板对光刻胶进行...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。