垂直多束激光处理装置的制作方法技术资料下载

技术编号:16075510

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本发明涉及使用激光的处理设备,更具体地,涉及一种能够通过在工件内沿垂直方向形成多个激光点(spot)来在工件上执行切割处理的垂直多束激光处理装置。背景技术目前,就显示设备的基板而言,玻璃系列的基板用作基体基板,并且这种玻璃基板按照产品的尺寸被切割以待使用。虽然使用金刚石头或通过施加热冲击来切割基板的方法被用于将玻璃基板切割成产品的尺寸,但是最近通常采用用于使用激光来切割玻璃基板的装置。目前所采用的使用激光的切割设备包括:台子,该台子用于将玻璃基板置于其上;切割头,该切割头设置有可移动地布置在台子...
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