一种MEMS芯片数控加工仪的制作方法技术资料下载

技术编号:16097427

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本发明涉及芯片数控加工技术领域,具体为一种MEMS芯片数控加工仪。背景技术微流控芯片是指在一块几平方厘米的芯片上构建的化学或生物实验室,它把化学或生物学中所涉及的样品制备、反应、分离和检测,细胞培养、分选和裂解等基本操作单元集成到一块很小的芯片上,由微通道形成网络,以可控流体贯穿整个系统,用以实现常规化学或生物实验室的各种功能。目前,微流控芯片在进行数控加工时需要用到特定的仪器,而这种仪器往往在工作时不为方便,使微流控芯片在需要进行夹持的时候不能够进行夹持,不具备夹持效果,并且这种仪器往往体型较...
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