技术编号：16103691
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及分子泵技术领域，尤其涉及一种复合分子泵。背景技术分子泵被广泛应用于高真空领域，因为分子泵长时间高转速的工作特性和高洁净度要求非常适合磁悬浮轴承的应用，所以磁悬浮分子泵逐渐成为分子泵的主流。分子泵工作时是按照：腔体—分子泵—前级泵来布置。分子泵进气口接被抽气腔体，分子泵出气口接前级泵。前级泵为普通真空泵，真空度可达到10E-1Pa。工作时，前级泵先被启动，使得被抽腔体和分子泵内真空度达到10E-1Pa。然后分子泵开始工作，使被抽腔体的真空度由10-1Pa提高到10-7Pa。分子泵进气...
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