技术编号:16109869
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于太阳能电池片制造装备领域,特别涉及一种电增强氢钝化设备。背景技术目前,商用晶体硅太阳能电池所采用的硅晶体中通常含有大量的杂质和结构缺陷。这些杂质和缺陷包括:硼与氧形成的复合体、过渡金属杂质、位错、晶界等。它们作为光生载流子的复合中心使电池基体中的少数载流子寿命下降,从而使太阳能电池的转换效率相应地降低。实验表明氢原子在硅晶体中能够与其中多数的杂质和缺陷反应,钝化这些复合中心使其复合活性降低,从而改善太阳能电池的电学性能。太阳能电池中的氢可来源于电池表面沉积的富含氢的氮化硅薄膜或者其...
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