技术编号:16124638
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体微电子领域,特别涉及紫外发光二极管(UV LED)的外延结构设计领域。背景技术基于三族氮化物的UV LED具有体积小、调制频率高、低电压以及潜在的高效率等特点,特别是与传统紫外光源相比对环境无污染,使得其在杀菌消毒、空气水的净化、医疗美容、聚合物固化、生化探测、非视距通讯等领域有着广泛的应用前景。目前,蓝宝石是UV LED的主流衬底。由于蓝宝石和氮化物外延层之间存在很大的晶格失配和热失配,异质外延层中会产生大量的位错和较大的应力,导致高密度非辐射复合中心以及严重的量子限制斯塔克效...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。