技术编号：16127561
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于传感器检测技术领域，特别涉及一种大气环境中微粒物质定性检测的方法。背景技术声表面波(SAW，Surface Acoustic Wave)是沿压电衬底表面传播的一种波。SAW有一个十分显著的特点就是能量集中在衬底的表面区域，这一特点使得SAW对影响其表面上声波传播的任何微扰都很敏感，包括沉积的质量、施加的外力、电导的改变、温度的变化、粘弹性的变化等。通过对这一性质的应用，各种声表面波传感器应运而生，主要有声表面波温度传感器、化学传感器、压力传感器、粘度传感器等。SAW化学传感器主要用于检...
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