技术编号：16145043
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种梁-岛-膜一体化谐振式压力传感器结构及制造方法。适用于微电子机械系统(MEMS)领域。背景技术谐振式压力传感器是基于谐振器的谐振频率随压力变化而改变的一类传感器。被测压力引起谐振器等效刚度变化，从而改变谐振器的谐振频率，通过测量谐振频率的变化获得被测压力的大小。作为谐振式压力传感器核心元件的谐振器工作于机械谐振状态，输出的频率信号不受电路噪声的影响，信噪比和分辨率高、抗干扰能力强，易于与现场总线连接，可以省去价格昂贵的A/D转换装置，减小由此引入的测量误差。谐振式压力传感器是目前精...
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