技术编号：16145508
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电化学传感领域，尤其是一种传感器件及其制备方法以及测试所述传感器件的方法。背景技术自即时检测的概念出现以来，能够进行定量分析的传感器件成为当下通信技术、生物医疗技术、电化学以及微纳电子学等领域学科的热点。由于场效应晶体管型的传感器具有可小型化、易于和数字芯片集成以及能够实现对痕量信号检测的特点，使得其在传统传感器领域中仍有很重要的地位。而氮化镓材料作为继砷化镓、磷化铟之后的第三代半导体材料，具备着极其优良的材料特性。目前氮化镓材料已成为全球半导体行业的研究热点和前沿，凭借着较宽的直接带...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。