一种单极涡旋光栅的制作方法技术资料下载

技术编号:16145979

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本发明涉及涡旋光场技术领域,尤其涉及一种单极涡旋光栅。背景技术涡旋光场由于具有很多优良特性,被广泛研究,并在诸如离子操作、光通信、全息光刻技术和超分辨率(SPED)显示等领域得到了相应商业应用。虽然螺旋相位板(Spiral Phase Plate,简称SPP)器件被认为是产生涡旋光场的一种重要且有效的方法,但是,在极紫外甚至x-ray波段,SPP的光场特性依赖台阶的高度和台阶数目、当SPP的台阶数目较少时,其输出涡旋光场的特性无法保证;当SPP的台阶数目较多时,其加工难度较大。而且,利用普通光栅...
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