技术编号:16148298
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子技术领域,具体地,涉及一种表面波等离子体加工设备。背景技术目前,等离子体加工设备被广泛地应用于集成电路或MEMS器件的制造工艺中。等离子体加工设备包括电容耦合等离子体加工设备、电感耦合等离子体加工设备、电子回旋共振等离子体加工设备和表面波等离子体加工设备等。其中,表面波等离子体加工设备相对其他等离子体加工设备而言,可以获得更高的等离子体密度、更低的电子温度,且不需要增加外偏置磁场,因此表面波等离子体加工设备成为最先进的等离子体设备之一。图1为现有的表面波等离子体加工设备的结构示意...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。