技术编号:16164516
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种新型合金靶材,属于靶材的技术领域。背景技术合金靶材广泛应用于液晶显示、等离子显示等平面显示器的点击和配线材料的铝系合金靶材,随着平面显示器的大型化和高精度华,越来越需要比抗小的材料。普通的合金靶材虽然会产生变色,但不会产生膜剥离,本新型合金靶材内含有Mo-Mb合金膜,所以不会产生变色,仍可以保持金属的光泽。实用新型内容实用新型目的:为了克服产生变色的问题,本实用新型提供一种新型合金靶材。工艺方案:本实用新型公开一种新型合金靶材,包括靶材、Mo-Mb膜、介质层、反射层、保护漆,所...
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