技术编号:16175472
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于流体机械领域,具体地说,涉及一种三腔滑片式真空泵。背景技术滑片真空泵是一种容积式流体机械,依靠滑片在泵腔中连续运转将气体由吸气口吸入并压缩,最后由排气口排出;具有抽速大、体积小、可吸入含杂质气体的优点,广泛应用于冶金、电子、医药、汽车行业;其关键技术是泵腔的内腔型线,泵腔内腔形状直接影响真空泵的工作性能。常见的滑片真空泵的工作腔均为对称工作腔,这种滑片真空泵内容积比较小,真空泵的极限真空度较低。公开号为CN2363089Y的专利公开了一种滑片式转子机,其波环转子内腔型面曲线采用“环...
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