技术编号:16204157
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及等离子发生器,特别涉及一种大功率复合频率ICP等离子发生器。背景技术大功率ICP等离子体应用技术被广泛应用于纳米材料制备,粉末喷涂,金属加工等许多技术领域。ICP等离子体发生器,自上世纪六十年代起,已经开始用于工业设备装置,其结构经过多年的优化改良,已经非常完善。其基本结构包括一个4-6圈的感应圈,把高频交流电能送入等离子体中;一个管状的等离子腔体,通常是用石英材料制作,用来限定等离子体的范围;一个气体分布头,将气体以一种特定的模式送入等离子腔体,以保证能够产生稳定的等离子体,并将等离...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。