技术编号：16204608
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种掩膜板部件、掩膜板部件的掩膜板体矫形方法和掩膜板体曝光方法。背景技术掩膜板作为光刻工艺中的关键用具，被广泛的应用在显示设备的制造过程中。在需要进行光刻工艺时，需要将包括镂空图案的掩膜板放置在半成品表面，然后通过曝光过程将被掩膜板遮挡的由光刻胶组成的掩膜图案留在半成品表面。在理想状况下，如图1a所示，曝光后的半成品表面上各处相同设计的掩膜图案的尺寸应该一致，且应与掩膜板上对应的图案设计尺寸相同。但在实际的生产过程中，如图1b所示，根据掩膜板在曝光机上的装载方式不...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。