技术编号:16210069
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种蒸镀装置。背景技术在显示技术领域中,由于有机电致发光器件(Organic Light-Emitting Diode,OLED)具有对比度高、功耗低以及可柔性显示等优点,因而,OLED成为显示技术领域中发展的重点。在OLED的生产工艺中,采用蒸镀机对OLED进行真空蒸镀,是决定OLED品质的关键环节。在具体的蒸镀过程中,蒸镀机中的承载板用于承载掩膜版,OLED中的基板设置在掩膜版上,与掩膜版贴合。蒸镀机中的触摸板设置在该基板上,与基板直接接触。在此过程中,可能...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。