技术编号：16210117
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及材料科学与工程领域中电极的制备，尤其涉及一种基于磁控溅射的纳米孔结构金电极的制备方法。背景技术金属纳米材料因为其尺寸效应和表面效应，能够表现出与宏观材料迥然不同的特性，在表面改性、传感、光学、催化以及能源转换与储存等多个领域具有广泛的应用潜力。因此探索简单易行的合成方法用于制备各种形态的金属微纳米结构是微纳米科学领域的一项重要课题，研究结果具有重要使用价值。目前已有多种技术可以实现金属微纳米结构的合成与制备，例如气相物理沉积、 气相化学沉积、溶液凝胶法、电弧放电法、溅射沉积法、模板法、...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。