喷嘴的表面处理方法与流程技术资料下载

技术编号:16218295

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本发明涉及半导体电子器件制作技术领域,特别是涉及一种喷墨打印机的喷嘴处理方法。背景技术近年来,高分辨图案化在高性能微半导体、电子器件以及生物功能材料等制备方面受到了广泛的研究。相比传统的图案化技术,如光刻蚀、电子束刻蚀、微接触转印等,喷墨打印技术可以实现大面积复杂图案的直接书写,工艺简单,成本低廉,成为最有前景的图案化方法之一。目前,喷墨打印技术已经被广泛的应用在显示器、传感器等器件制备中。喷墨打印实现图案化的分辨率主要取决于喷射液滴的尺寸和液滴的稳定性。相同条件下,喷射液滴的尺寸越小打印图案的...
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