技术编号：16238473
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于氧化锌薄膜制作领域，具体为共掺杂铒和氮的p型氧化锌材料制作方法。背景技术氧化锌(ZnO)是性质优良的半导体材料，广泛应用于各种半导体电子器件的制造行业。然而，应用中存在一些尚未解决的关键问题，例如，具有较高空穴浓度的p型掺杂氧化锌仍然不太好获取，某种程度上是因为氧化锌本身捐助型的本征点自我补偿能力远强于接受型。这些问题阻碍了基于氧化锌的电子器件的进一步发展。因此，制备可靠稳定的p型氧化锌的关键是抑制接受体的自我补偿能力和提高接受体的溶解性。目前为止，人们已经提出了多种稳定制造p型掺杂氧...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。