技术编号:16238530
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种热处理装置以及利用该热处理装置的膜制造方法。背景技术有机发光元件作为自发光型元件而应用于显示装置的情况下,不仅可视角度宽广、对比度出色,而且还具有响应速度、亮度、驱动电压特性出色且可实现多色化的优点。有机发光元件(organic light emitting device)具有在注入空穴(hole)的阳极电极(anode electrode)与注入电子(electron)的阴极电极(cathode electrode)之间夹设有包括空穴注入层、空穴传输层以及发光层的有机膜的结构。在...
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