技术编号:16238963
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体用基板及其制造方法。背景技术在半导体集成电路(LSI:Large Scale Integration)、TFT-LCD(薄膜晶体管-液晶显示器,Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)中,微细化、高速动作的要求高涨,在半导体用基板上所制作的膜逐渐变得更为致密。就多晶硅TFT用的基板而言,如果其平坦性受损,则在液晶显示装置制造工序中将玻璃晶片夹紧时、机器人搬运时,产生不吸附或不能把持等不利情形,或者在形成多晶硅TFT的过程的施以微细的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。