技术编号：16256183
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学位移测量技术领域，具体地说，涉及一种用于大范围测量的光谱共焦测量系统及方法。背景技术近年来，随着精密制造业的飞速发展，对测量技术的要求也大大提高。传统的接触式测量方式，由于会对待测物体产生损坏，不能适用于不同的环境，已经不能满足测量的要求。而非接触式的光谱共焦技术是近年来出现的一种高精度的新型测量技术。由于光谱共焦测量技术精度高，测量速度快，实时性高，能适用于不同的环境，其迅速成为当前研究的热点，广泛应用于薄膜厚度测量、精密定位、精密仪器制造等领域。基于光谱共焦技术的光谱共焦测量系...
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