技术编号：16259701
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微纳尺度器件技术领域，尤其涉及一种纳米阵列复合材料的制备方法。背景技术二维材料具有极薄的原子级厚度，优异的光学、电学性能，以及丰富的光电特性，在电子器件，光电器件，柔性器件等领域有着广泛的应用前景。近年来，人们开始尝试将等离子体纳米阵列制作在二维材料之上，形成等离子体纳米阵列/二维材料结构，这种结构将表面等离子体共振特性与二维材料丰富的光电特性结合起来，得到具有特殊功能的滤光片或者光电器件。目前在二维材料上制作等离子体纳米阵列的方法多是采用传统的光刻工艺制作，需要用到昂贵的光刻设备和繁...
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