技术编号:16261530
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开至少一个实施例涉及一种薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板。背景技术薄膜晶体管的有源层受到光照后会产生大量的光生载流子,由此可能产生漏电流,对薄膜晶体管的电学性能以及包括该薄膜晶体管的电子产品的性能产生不良影响。例如,在薄膜晶体管应用于电子显示产品作为像素单元的开关元件的情形,薄膜晶体管的有源层在受到光的照射后,薄膜晶体管在关态下的漏电流增加,导致电子显示产品产生残像、串扰等不良。发明内容本公开至少一个实施例提供一种薄膜晶体管,包括衬底以及位于所述衬底上的有源层、源电极、漏电极、栅电极和遮光部...
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