技术编号:16273999
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及尾气处理技术领域,尤其涉及一种尾气处理冷凝器以及尾气处理系统。背景技术在半导体、太阳能、LED、平板显示和光纤行业快速发展的今天,MOCVD(Metal-organic Chemical Vapor Deposition,金属有机化合物化学气相沉积)工艺使用范围越来越广泛,MOCVD工艺大部分都涉及到使用有毒材料、易燃易爆材料或腐蚀性原材料,有些物质分解后会在MOCVD的真空反应腔室内或真空排气管道内产生大量沉积,还有一些反应后的低熔点副产物也大量沉积。这些物质很容易沉积在阀门的缝...
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