技术编号：16281906
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种自动升降扫描电镜样品座系统，属于精密仪器技术领域。背景技术扫描电镜是一种新型的电子光学仪器，通过电子束与样品的相互作用，产生各种物理信号来调制成像，具有分辨率高，放大倍数宽，三维立体效果好，样品制备简单的特点。其中样品座是扫描电镜中的一个重要组件，用来承载样品台，并将样品运动到指定的观测位置。以蔡司某型扫描电镜为例，该样品座由步进电机驱动，可以实现样品台的升降与旋转，在应用过程中，这种结构过于复杂，且由于步距角不够合理，使得样品台随样品座运动时容易出现爬行现象，且由于人工操作失...
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