技术编号:16290288
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种采用隧道场效应晶体管的集成电路及其制造方法,尤其涉及一种利用由栅极电压控制隧道电流从而工作的电子的隧道效应的采用隧道场效应晶体管的集成电路及其制造方法。背景技术相比当前作为半导体集成电路的基本元件所使用的场效应晶体管,隧道场效应晶体管具有能够以低电压工作的特点。使隧道场效应晶体管作为半导体集成电路的基本元件,能够降低半导体集成电路的消耗功率。关于该隧道场效应晶体管,在例如非专利文献1中有所公开。但是,关于使用现有的场效应晶体管的集成电路,在连接多个同一沟道的场效应晶体管的情况下,能...
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