一种功能图形的制作方法、阵列基板及显示装置与流程技术资料下载

技术编号:16290801

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本发明涉及显示领域,特别是指一种功能图形的制作方法、阵列基板及显示装置。背景技术在现有的显示面板结构中,衬底基板上要形成有各种各样的功能图形(如电极、信号线等)。这些功能图形制作工艺都是先在衬底基板上沉积材料层,之后将材料层刻蚀成需要的图形结构。以功能图层为电极为例,现有制作电极的方法是先在衬底基板上沉积金属层和光刻胶层,之后使用掩膜板对光刻胶层进行曝光、显影,使光刻胶层形成电极的图形,并最终使用刻蚀液对金属层进行刻蚀。在刻蚀过程中,曝光、显影残留下来的光刻胶层可为其对应的金属层提供保护,因此在...
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