技术编号：16314861
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及硅基光电子技术领域，更具体地，涉及一种热调谐光栅耦合器。背景技术光栅耦合器作为一种输入/输出（输入/输出）光学器件，用于光学波导到光纤表面的耦合，以及在同一芯片上或在两个不同芯片之间的层间光波导与光波导的耦合。光栅耦合器可以实现高密度的互连，从硅芯片表面的二维输入输出，多波长的操作以及在晶圆片切割之前进行晶片测试和装箱等功能。其制备与CMOS工艺可以完全兼容，可以大规模高密度批量化生产。在过去的几十年里，研究了很多种提高光栅耦合器耦合效率的方式，例如制备成浅刻蚀光栅，在光栅底部制备一层...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。